XSendFile: Varnish + nginx обратный прокси + apache

Question

Я установил XSendFile на моем сервере (используя apxs -cia mod_xsendfile.c)

в vhosts я включил его и дал каталог моих файлов к нему теперь проблема, ERR_INVALID_RESPONSE

и это код:

header("Content-Type: application/octet-stream");
header("Content-Disposition: attachment; filename=$file_name");
header("X-Sendfile: $file_path_cmp");

Я пользуюсь CWP (CentOS Web Panel)

до меня был только Apache, и он работал нормально

Теперь у меня есть: Varnish Cache (Port 80) -> Nginx Reverse Proxy (Port 81) -> Apache (Port 8181)

все работает отлично, за исключением части загрузки.